美國風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)Intermolecular發(fā)布了可大幅縮短新材料半導(dǎo)體工藝開發(fā)期的技術(shù)“High-Productivity  Combinatorial（HPC）”（發(fā)表資料,，英文）,。該技術(shù)將醫(yī)藥、生物學(xué)領(lǐng)域中使用的材料尋找法“combinatorial技術(shù)”應(yīng)用到了半導(dǎo)體工藝開發(fā)中,。據(jù)介紹在一個應(yīng)用事例中,，用以前的方法需要花費(fèi)20年以上的材料篩選工作，此次只用5周便可完成,。  

    combinatorial的含意是“組合”,，該方法是以各種組合方式，對多種微量化合物進(jìn)行合成,，從中選出想要的化合物,。此前，半導(dǎo)體工藝是用1種材料形成整個晶圓面,，然后進(jìn)行評估,，因此，效率很低,。此次的方法是將1枚晶圓分成多個區(qū)域,，通過改變各個區(qū)域的材料制造測試芯片，以評估電氣特性,。  

    例如,，該公司稱為“Tempus  F-30”的裝置，是在300mm晶圓上安放28個小型容器,，在各個容器中注入不同的藥液,，對晶圓進(jìn)行處理。這樣一來,，可在1枚晶圓上同時評估28種工藝,。如果是進(jìn)行濺射處理，則不用小型容器,，而代之以依次移動掩模,，完成28種成膜。據(jù)介紹,，在稱為“Tempus  F-20”,、“Tempus  F-10”的裝置中，可以更高的密度配置小型容器,，從而能同時評估更多的工藝。  

    該公司將以（1）與用戶共同開發(fā),、（2）裝置銷售,、（3）技術(shù)授權(quán)這三種方式提供此次的技術(shù),。支持濕式工藝的裝置目前已開始供貨,，到2008年將投放支持濺射以及ALD的裝置。此次的技術(shù)已在“SEMICON  West  2007”上發(fā)表,，“引起了很大反響”（該公司）,。