分子篩變壓吸附PSA（Pressure Swing Absorption）氣體分離和提純技術(shù)是在20世紀(jì)60年代后,，隨著環(huán)境保護(hù)及污染治理的要求而迅速發(fā)展起來(lái)的技術(shù),，目前已經(jīng)在鋼鐵生產(chǎn)、氣體工業(yè),、電子工業(yè),、石油化工和醫(yī)療衛(wèi)生等諸多行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用1962年美國(guó)聯(lián)合碳化物公司（UCC）發(fā)現(xiàn)了分子篩對(duì)氣體的選擇性特性，并在實(shí)驗(yàn)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)了對(duì)少數(shù)不同氣體的分離,；隨即研制成功了世界上第一臺(tái)制氫工業(yè)裝置,；隨著分子篩材料與工藝的不斷提升，70年代中期美國(guó)和德國(guó)首先將PSA技術(shù)應(yīng)用于空氣分離并在化工領(lǐng)域得到應(yīng)用,，到80年代中期化學(xué)工業(yè)的發(fā)展為分子篩的性能提高起到了關(guān)鍵作用,，這使設(shè)備小型化成為可能，1985年美國(guó)的Praxair公司研制的第一臺(tái)小型制氧機(jī)的問(wèn)世標(biāo)志著PSA技術(shù)小型化的開(kāi)始,，90年代初產(chǎn)品意義上的醫(yī)用小型制氧機(jī)開(kāi)始出現(xiàn),，美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)學(xué)會(huì)（ASTM）于1993年頒布了醫(yī)用小型制氧機(jī)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范（F1464-1993），國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織于1996年發(fā)布了醫(yī)用小型制氧機(jī)的安全性標(biāo)準(zhǔn)（ISO8359：1996）,。
　　分子篩變壓吸附氣體分離和提純技術(shù)是利用分子篩,、依靠壓力的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸附和再生，其再生速度快,、能耗低,、屬于節(jié)能型氣體分離技術(shù)，特別符合在能源短缺的情況下其低品質(zhì)資源的開(kāi)發(fā)利用的世界潮流,。分子篩變壓吸附原理的制氧機(jī)僅僅利用空氣就可以生產(chǎn)純度在90一95%的氧氣,，并且其制氧機(jī)工藝流程簡(jiǎn)單、安全,、投資少,、能耗比較低，因此在中小規(guī)模的需要富氧的地方,，如近年來(lái)各級(jí)醫(yī)院的中心供氧系統(tǒng)的氧氣氣源愈來(lái)愈多的選用制氧機(jī)產(chǎn)氧,，這類(lèi)設(shè)備均采用分子篩變壓吸附氣體分離和提純技術(shù)獲取低成本的氧氣。
　　PSA制氧裝置
　　原料空氣經(jīng)空氣壓縮機(jī)增壓后,，空氣預(yù)處理系統(tǒng)除去油,、塵埃等固體雜質(zhì)及大部分的氣態(tài)水,進(jìn)入裝有沸石分子篩（ZMS）的吸附塔，空氣中的氮?dú)?、二氧化碳,、水蒸氣被吸附劑選擇吸附，氧氣則穿過(guò)吸附塔，氧作為產(chǎn)品氣體輸出,。當(dāng)吸附塔內(nèi)吸附劑接近吸附飽和時(shí),，壓縮空氣進(jìn)入另一只已再生后的吸附塔繼續(xù)吸附，吸附飽和的吸附塔則通過(guò)向大氣排氣泄壓,，并引入部分產(chǎn)品氧氣對(duì)吸附劑床層清洗,，使吸附飽和的吸附劑解吸再生，為下次吸附做準(zhǔn)備,。吸附塔在PLC或DCS系統(tǒng)的控制下循環(huán)切換完成連續(xù)產(chǎn)氧,。氧氣經(jīng)儀表分析計(jì)量送用戶使用。
　　VPSA/VSA制氧
　　在環(huán)境溫度下,，原料空氣經(jīng)過(guò)濾器凈化進(jìn)入鼓風(fēng)機(jī)增壓,，通過(guò)空氣溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)冷卻并維持在某恒定溫度進(jìn)人裝有沸石分子篩吸附劑的吸附塔，空氣中的水分,，二氧化碳和氮?dú)獾缺晃絼┪?，不被吸附的氧氣在吸附塔富集并作為產(chǎn)品氣送入氧氣產(chǎn)品緩沖罐，經(jīng)計(jì)量分析臺(tái)格后送用戶使用,。
　　真空解吸 VPSA 制氧機(jī)主要原理與變壓吸附制氧機(jī)原理基本是一樣的,，不同之處在于分子篩的解吸再生使用了一套抽真空系統(tǒng)。
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