故障現(xiàn)象:高頻80kW主機使用過程中主機首先報錯誤E89,，即啟動到10000轉(zhuǎn)過程中公共線圈電流不足，取消后又可以正常使用。使用2h后出錯誤E59，沒有X線產(chǎn)生。
維修:打開主機外罩,，發(fā)現(xiàn)輔助變壓器溫度極高(約有70℃-80℃)。檢查高速啟動板電源板,，發(fā)現(xiàn)F3,、F4保險熔斷，無其它元件明顯損壞,。更換保險后開機,，自檢正常，無任何錯誤提示,。按下手閘一檔,，瞬間主機內(nèi)出現(xiàn)巨大聲響，并致使主機自動斷電關(guān)機,。此時檢視設(shè)備,，發(fā)現(xiàn)高速啟動板的IGBT被擊穿，且高速啟動板電源板直流700V焊點融化,。進一步檢查又發(fā)現(xiàn)主機的6F4 50A大保險熔斷,。筆者根據(jù)經(jīng)驗判斷，此次故障造成的損害應(yīng)遠不止于此,，仔細研究圖紙后,，順著熔斷的50A保險一路檢查，發(fā)現(xiàn)3F2保險熔斷,，并致使燈絲板的場效應(yīng)管Q1,、Q2被擊穿。
問題分析:在第一次出現(xiàn)故障之前，IGBT已經(jīng)處于熱擊穿狀態(tài),，當(dāng)再次開機并給手閘一檔的時候，造成了直流700V短路,。此時主機L2一路電流過大,，導(dǎo)致6F4保險熔斷。同時,，5A5板里面的電容經(jīng)過6LF1與6T2變壓器形成放電回路,，在變壓器內(nèi)感應(yīng)出極高的電壓，從而使220V輸出一路中3BR2整流硅橋的輸出電壓過大,，造成了燈絲板的損壞,，同時3F2保險熔斷。造成IGBT熱擊穿的根本原因是輔助變壓器匝間短路,，使輔助變壓器過熱所至,。
建議:
(1)主機報高速啟動板故障時，應(yīng)該考慮到變壓器和輔助變壓器出現(xiàn)故障的可能性,。變壓器在實際使用中發(fā)熱本屬正?，F(xiàn)象，但過熱則應(yīng)引起高度重視,。若主,、副變壓器型號一致，可以將兩個變壓器對換,，若對換后仍然是同一個變壓器發(fā)燙,，則可以認(rèn)定此變壓器為匝間短路。
(2)E89可能就是這個故障的前期表現(xiàn),，出現(xiàn)這個錯誤應(yīng)該盡早加以排除,，以免引起更多的損壞。
(3)當(dāng)出現(xiàn)類似錯誤時,，要測量ICBT是否處于熱擊穿狀態(tài),，一旦發(fā)現(xiàn)可疑現(xiàn)象，不應(yīng)再開機曝光,，否則會造成無法預(yù)料的損失,。
處理高壓發(fā)生器過載(E09)的小技巧
此種故障在設(shè)備說明書中Trouble shooting項里有非常詳盡的說明，但是筆者曾經(jīng)遇到過在排除了X線管,、高壓電纜,、油箱、IGBT等部件后仍然報錯誤F09,。研究相關(guān)圖紙后,，筆者拔掉了2塊IPM觸發(fā)板中的1塊(即斷掉這塊板的J1和J2)。開機曝光后，不再出現(xiàn)E09錯誤提示,，卻報出錯誤E12(燈絲超差),。這說明拔掉的這塊IPM觸發(fā)板可能有問題。當(dāng)筆者接好J1,、J2而斷掉另一塊IPM觸發(fā)板后,，E09再次出現(xiàn)。更換上述存疑的IPM觸發(fā)板后,，一切恢復(fù)正常,。
分析:此次維修經(jīng)歷，筆者認(rèn)為,，IPM觸發(fā)板的結(jié)構(gòu)其實非常簡單,，當(dāng)它出現(xiàn)問題時，導(dǎo)致報出IGBT FAULT的錯誤信號很正常,。
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